產(chǎn)品頻道

Charon2 Z3TM QuiET 堆疊平臺(tái)

是由CHARON2 XY系統(tǒng)和一個(gè)Z3TM組合模塊以及一個(gè)垂直直線軸組成的高精度多軸系統(tǒng)，該平臺(tái)也能集成了QuiET主動(dòng)避震系統(tǒng)。

產(chǎn)品特點(diǎn)

總行程：達(dá)650 mm x 410 mm

9種CHARON2標(biāo)準(zhǔn)產(chǎn)品 x 2種可選的電子系統(tǒng)=18種現(xiàn)成方案可供選擇

兼容ISO 2 或者 ISO1級(jí)超凈車(chē)間

使用Z3TM組合模塊校正傾斜度

卡盤(pán)面帶真空接口

運(yùn)動(dòng)和穩(wěn)定時(shí)間短

有效負(fù)載和高達(dá)30千克

靈活的應(yīng)用和使用用例

同級(jí)中更優(yōu)的擁有成本

模塊型、可擴(kuò)展的性能和現(xiàn)場(chǎng)可升級(jí)

產(chǎn)品性能：