PHOCUS-17XX系列ID讀取器
PHOCUS-17XX系列ID讀取器是用于半導(dǎo)體生產(chǎn)現(xiàn)場(chǎng)晶圓標(biāo)識(shí)讀取識(shí)別的智能相機(jī)。它集成高速圖像采集系統(tǒng)、高速處理器、ID讀取軟件和先進(jìn)的光學(xué)系統(tǒng)于一體,方便與工廠設(shè)備進(jìn)行系統(tǒng)集成,并能根據(jù)現(xiàn)有設(shè)備的需要輕松進(jìn)行改裝或升級(jí)。PHOCUS-17XX 系列ID讀取器能夠滿足晶圓各類標(biāo)識(shí)讀取、檢測(cè)所需,實(shí)現(xiàn)晶圓生產(chǎn)流程跟蹤,具體應(yīng)用如:晶圓缺口檢驗(yàn)、晶圓預(yù)校準(zhǔn)、晶圓精細(xì)校準(zhǔn)、晶圓識(shí)別、晶圓檢驗(yàn)、粘接焊墊檢驗(yàn)、探針針尖檢驗(yàn)。
特點(diǎn):
1.行業(yè)領(lǐng)先性能
a.集成相機(jī)、光學(xué)系統(tǒng)、照明系統(tǒng)和處理器于一體
b.先進(jìn)的ID讀碼算法;識(shí)別算法符合SEMI M1.15 鑒別標(biāo)準(zhǔn),允許用戶讀取在同一視野范圍的T7 2D碼和M12字母數(shù)字標(biāo)簽
c.自動(dòng)軟件控制照明,提供明場(chǎng)和暗場(chǎng)模式,可變?nèi)肷浣嵌取⒁约翱烧{(diào)的亮度
d.滿足半導(dǎo)體生產(chǎn)各環(huán)節(jié)的晶圓標(biāo)示識(shí)別
e.能夠采集大范圍圖像,并且工作距離范圍廣,可調(diào)整
2.操作簡(jiǎn)便、易于安裝
a.無需任何機(jī)器視覺或圖像處理經(jīng)驗(yàn)即可操作
b.外形小巧適用于有限空間
3.遠(yuǎn)程安裝和監(jiān)控
a.以太網(wǎng)通訊方便用戶進(jìn)行數(shù)據(jù)訪問和工業(yè)過程監(jiān)控,RS-232串口可選
b.遠(yuǎn)程共享信息,監(jiān)控標(biāo)識(shí)碼讀取,診斷系統(tǒng)
c.實(shí)現(xiàn)晶圓跟蹤