作為半導(dǎo)體制造工藝中的重要一環(huán)，單晶硅硅片制造工藝尤為重要。多晶硅片經(jīng)過切片、倒角、研磨、表面處理、拋光、外延等不同工序加工后，表面已經(jīng)受到嚴(yán)重的玷污，因此有一個很重要的工藝段便是清洗，其目的就是為了去除硅片表面顆粒、金屬離子以及有機物等污染。

　　凱�？萍坚槍尉Ч杵圃烨逑垂に囂岢隽薙SDC集成式EtherCAT總線驅(qū)動器+YKW系列一體式轉(zhuǎn)臺的方案。具有尺寸更小，速度波動平穩(wěn)等特點。

工藝流程圖

案例展示

方案優(yōu)勢

驅(qū)控一體尺寸更小

速度更穩(wěn)

-【End】-

廣東凱福電子科技有限公司

電話：0769-23033384

傳真：0769-22493047

官網(wǎng): www.kaifull.net

地址：東莞市高埗鎮(zhèn)高龍東路5號 凱�？萍紙@