分布式 I/OXBF 系列產(chǎn)品 在半導(dǎo)體芯片檢測(cè)設(shè)備中的應(yīng)用
文:南京實(shí)點(diǎn)電子科技有限公司2025年第四期
半導(dǎo)體芯片檢測(cè)對(duì)設(shè)備信號(hào)采集精度、系統(tǒng)靈活性及穩(wěn)定 性要求高。實(shí)點(diǎn)科技分布式I/O XBF系列產(chǎn)品可節(jié)省配線,提 升設(shè)備可維護(hù)性與擴(kuò)展性,滿足復(fù)雜應(yīng)用環(huán)境下的生產(chǎn)需求。
本期案例使用的實(shí)點(diǎn)科技產(chǎn)品包括: XBF4-EC04、 XBF2E-1600、XBF2E-0016A、XBF2E-0808A。
1 生產(chǎn)工藝介紹
半導(dǎo)體芯片檢測(cè)設(shè)備包含以下完整工序:晶圓裝載→顯影 →勻膠→缺陷掃描→分揀下料。
2 I/O模塊應(yīng)用方式
基于EtherCAT總線協(xié)議,系統(tǒng)以倍福系列PLC為控制核 心,通過(guò)XBF EtherCAT耦合器XBF4-EC04組建總線I/O系統(tǒng)。 該耦合器提供4個(gè)擴(kuò)展網(wǎng)口,每個(gè)網(wǎng)口最大可連接16個(gè)I/O模塊 (總共可連接32個(gè)I/O模塊),允許XBF2E系列I/O模塊按工位 需求分布式部署,完成信號(hào)采集與設(shè)備控制。其支持線型、星 型與混合拓?fù)涞哪芰?,顯著優(yōu)化了設(shè)備的靈活布局。
XBF2E-1600采集光電傳感器(晶圓到位觸發(fā)機(jī)械臂停 止)、限位開(kāi)關(guān)(機(jī)械臂行程硬限位)、安全門鎖聯(lián)鎖信號(hào); XBF2E-0808A讀取氣缸磁耦開(kāi)關(guān)(實(shí)時(shí)反饋伸縮狀態(tài))、急停 按鈕信號(hào)。
XBF2E-0016A與XBF2E-0808A控制電磁閥(分揀氣缸動(dòng) 作、勻膠閥門)、輸出伺服信號(hào)(傳送帶啟停)、驅(qū)動(dòng)報(bào)警指 示燈。
3 方案優(yōu)化成效
客戶原方案(倍福PLC + 本地I/O + 第三方集線器)需額外第三方集線器實(shí)現(xiàn),增加線纜成本與維護(hù)的復(fù)雜性。采用實(shí)點(diǎn) 科技XBF分布式I/O后帶來(lái)全面提升:
· 成本優(yōu)化:節(jié)省額外設(shè)備采購(gòu),并減少線纜與配件成 本,總線I/O綜合成本降低;
· 效率提升:設(shè)備運(yùn)輸拆卸安裝,布線簡(jiǎn)化,提高人工效 率30%以上;
· 穩(wěn)定增強(qiáng):節(jié)點(diǎn)數(shù)量減少,提高系統(tǒng)網(wǎng)絡(luò)整體穩(wěn)定性, 設(shè)備運(yùn)行更可靠。
4 省配線分布式I/OXBF系列
· 無(wú)需特殊線纜與工具,使用通用工業(yè)網(wǎng)線通訊;
· 采用三線制為傳感器提供電源,省去端子排,簡(jiǎn)化接線 工作;
·支持串型、星型、混合型等多種拓?fù)漕愋停到y(tǒng)布局靈活;
· 可按需進(jìn)行點(diǎn)數(shù)、結(jié)構(gòu)、特殊功能快速定制。
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