摘要：  OHT（Overhead Hoist Transport）天車搬運(yùn)系統(tǒng)如同高度協(xié)同的空中物流網(wǎng)絡(luò)，是現(xiàn)代化半導(dǎo)體晶圓廠（FAB）的 “空中快車”。為了在有限的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、零失誤的晶圓搬運(yùn)，高創(chuàng)開發(fā)的BD3E+PH3E伺服方案為半導(dǎo) 體“空中物流”注入了強(qiáng)勁而可靠的動力核心。

1 OHT天車重載的挑戰(zhàn)

在現(xiàn)代化半導(dǎo)體晶圓廠（FAB）的“無塵蒼穹”之下， 一條條精密軌道縱橫交錯，一輛輛智能“空中快車”—— OHT （Overhead Hoist Transport）天車搬運(yùn)系統(tǒng)正以最高5m/s （18km/h）的速度穿梭不息。它們?nèi)缤叨葏f(xié)同的空中物 流網(wǎng)絡(luò)，精準(zhǔn)直達(dá)每一臺工藝設(shè)備，承載著價(jià)值連城的晶圓 高效流轉(zhuǎn)，成為300mm及未來FAB晶圓工廠不可或缺的“大 動脈”。
然而，要在有限的空間內(nèi)實(shí)現(xiàn)高速、穩(wěn)定、零失誤的晶 圓搬運(yùn)，OHT的核心動力單元——伺服系統(tǒng)面臨著前所未有的 嚴(yán)苛挑戰(zhàn)：
（1）空間與載重的極限博弈
OHT小車（VHL）內(nèi)部空間寸土寸金，需在緊湊布局中 實(shí)現(xiàn)最大裝載量，驅(qū)動部件必須極致小巧輕量化。
（2）穩(wěn)定即生命線
晶圓價(jià)值昂貴，任何突發(fā)報(bào)警導(dǎo)致的急停都可能造成災(zāi) 難性損失，伺服系統(tǒng)必須具備超高可靠性與7x24小時(shí)無休穩(wěn) 定運(yùn)行能力。
（3）效率至上，調(diào)試需敏捷
工廠投產(chǎn)與維護(hù)分秒必爭，伺服系統(tǒng)的易用性與快速調(diào) 試直接影響整體運(yùn)營效率。
高創(chuàng)運(yùn)動控制深諳OHT“痛點(diǎn)”，以創(chuàng)新BD3E+PH3E 伺服方案，為半導(dǎo)體“空中物流”注入了強(qiáng)勁而可靠的動力 核心。

2 直擊三大核心訴求

（1）極致緊湊，釋放空間潛能高創(chuàng)BD3E系列伺服驅(qū)動器與PH3E系列高功率密度電 機(jī)，以行業(yè)領(lǐng)先的小型化、輕量化設(shè)計(jì)，完美適應(yīng)OHT小車 內(nèi)部高度緊湊的機(jī)械布局。
更小的體積意味著OHT可以優(yōu)化設(shè)計(jì)，承載更多晶圓盒 （FOUP）或關(guān)鍵物料，顯著提升單次搬運(yùn)效率，最大化空 間利用率。
（2）堅(jiān)如磐石，守護(hù)晶圓安全
高創(chuàng)伺服方案擁有卓越的抗干擾能力與超高的運(yùn)行穩(wěn)定 性，有效規(guī)避誤報(bào)警，杜絕因伺服系統(tǒng)異常導(dǎo)致的意外急停 風(fēng)險(xiǎn)。
強(qiáng)大的過載能力與完善的保護(hù)機(jī)制，確保系統(tǒng)在長期高 負(fù)荷、高頻次啟停的運(yùn)行工況下穩(wěn)定可靠，無懼7x24小時(shí)連 續(xù)作業(yè)，為價(jià)值不菲的晶圓提供堅(jiān)實(shí)保障。
（3）智慧易用，效率加速器
直觀的調(diào)試軟件與友好的用戶界面，大幅縮短OHT設(shè)備 的安裝、調(diào)試與維護(hù)時(shí)間。
豐富的診斷功能和參數(shù)化管理，讓運(yùn)維人員能夠快速定 位問題，提升系統(tǒng)整體可用性，確保半導(dǎo)體生產(chǎn)線高效順暢 運(yùn)轉(zhuǎn)。

3 高創(chuàng)伺服驅(qū)動OHT“智”行千里

搭載高創(chuàng)BD3E+PH3E伺服方案的OHT系統(tǒng)，猶如被賦 予了更強(qiáng)大、更智能的“心臟”與“肌肉”：
· 在直線軌道上，穩(wěn)定輸出5m/s的高速運(yùn)行，大幅提升 晶圓廠內(nèi)部及跨廠區(qū)物流效率；
· 在復(fù)雜的曲線軌道和精準(zhǔn)對接位置，實(shí)現(xiàn)平穩(wěn)、柔 順、低振動的加減速控制，確保晶圓運(yùn)輸過程平穩(wěn)無虞；
· 其卓越的穩(wěn)定性和可靠性，如同為空中物流網(wǎng)絡(luò)構(gòu)筑 了堅(jiān)實(shí)的“安全護(hù)盾”，讓中央控制系統(tǒng)（OHTC）能夠更從 容地調(diào)度全局，實(shí)時(shí)優(yōu)化天車流量，減少等待時(shí)間，構(gòu)建更 智能、更高效的晶圓廠物流體系。

4 高創(chuàng)全流程服務(wù)護(hù)航精密搬運(yùn)

高創(chuàng)運(yùn)動控制解決方案深耕半導(dǎo)體領(lǐng)域，針對 OHT 系 統(tǒng)的“高速、精密、穩(wěn)定”核心需求，能夠從售前到售后提 供全周期技術(shù)支撐。
OHT系統(tǒng)的軌道布局、載重需求、運(yùn)行速度等參數(shù)直接 影響運(yùn)動控制方案的適配性，高創(chuàng)售前服務(wù)從“快速響應(yīng) + 精準(zhǔn)驗(yàn)證”雙維度切入：
（1）售前：以需求為導(dǎo)向，3步鎖定最優(yōu)方案：1小時(shí) 極速響應(yīng)、3天驗(yàn)證閉環(huán)、7天交付攻堅(jiān)。
（2）售中：駐場賦能，護(hù)航系統(tǒng)集成落地， OHT 系 統(tǒng)進(jìn)入安裝調(diào)試階段時(shí)，高創(chuàng)以“資深工程師駐場 + 實(shí)時(shí)響 應(yīng)”，確保順利投產(chǎn)。
（3）售后：硬核守護(hù)，杜絕生產(chǎn)線停擺。
從 OHT 系統(tǒng)的精準(zhǔn)搬運(yùn)到全車間的智能制造，高創(chuàng)始 終以“高精高速”的技術(shù)追求，與合作伙伴共筑半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè) 基石。
在半導(dǎo)體制造邁向更高精度、更高效率的未來，高創(chuàng)運(yùn) 動控制始終致力于以創(chuàng)新的技術(shù)、可靠的產(chǎn)品和專業(yè)的解決 方案，賦能智能裝備。選擇高創(chuàng)BD3E+PH3E伺服方案，為用戶的OHT天車搬運(yùn)系統(tǒng)注入更小、更強(qiáng)、更穩(wěn)定的澎湃動 力，助力半導(dǎo)體制造“空中高速”暢通無阻，智贏未來！